Контролер товщини мембрани- Форнітор глобальний

401, четвертий поверх, буд?вля № 5, Zhengzhou Yida Technology New City, вулиця Qingchang, високотехнолог?чний район, м?сто Чженчжоу

Детальніше:

Контролер товщини мембрани

Технічні характеристики:

1. Повний сенсорний екран, простий у використанні;

2.32Кожна мембрана, кожна мембрана50/100шар автоматичного покриття;

3. 12Вхід дорожнього сигналу/12вихідний обсяг перемикача;

4. Повністю автоматичний, напівавтоматичний та ручний режими управління;

5.Контролюється2одне джерело, один набір роботи інший набір попереднього розчину;

Технічні параметри

	Контролер CY-FDC-S
Кристальна вібраційна частота	6 МГц (необхідний кристал 2,5 м 3 м 5 м 9 м)
Показати спосіб	5" кольоровий сенсорний екран + цифрова труба дисплей швидкість і реальна товщина
Спосіб роботи	сенсорний екран
Товщина	00μ0000Å-99μ9999Å
Товщина роздільної здатності дисплея	1Å/s
Швидкість роздільної здатності	0.1Å/s
Кількість шарів покриття	32 мембрани, кожна мембрана 50/100 шарів;
Кількість зондів	A B
Фактор інструментів	0.01-99.99
Показати час	00:00:00-23:59:59 H:M:S
Дисплей потужності	0～99.9%
Передплавлена потужність	0～99%
Попереднє покриття потужності	0～99.9%
Час попереднього плавлення / час попереднього покриття	0～99:99 m:s
Час попереднього розплавлення / Час ізоляції попереднього покриття	0～99:99 m:s
Швидкість покриття (встановлена швидкість)	0～999.9Å/s
Зберігання матеріалів	257+ 10 індивідуальних
комунікації	RS232/RS485
Контролюється джерело випаровування	2, один набір може працювати інший набір попереднього розчину
Контроль виходу	±10V/5V/2.5V
I/інтерфейс	12 входів сигналу / 12 виходів вимикача
Кількість керованих тигелів	1-16 чоловік
Покриття Дисплей	Крива швидкості/значення
Кількість покриття	50/100 шарів на мембрану автоматично
Розмір корпусу	480 × 280 × 89 мм (2U 19 "корпус)

Спеціальні функції:

1Ручні, напівавтоматичні, автоматичні3Режим покриття, щоб задовольнити різні конфігурації покриття машини;

2Штучне припинення покриття: штучне припинення покриття під час покриття;

3Ручне управління: визначення вимог до початкового процесу покриття;

4Система перериву плівки: автоматичне та напівавтоматичне покриття знаходить проблеми або збої, може зупинити покриття та автоматично зберегти поточний стан, після збою **, може продовжити покриття з системи перериву плівки;

5Автоматичне або напівавтоматичне покриття, якщо кристальні вібрації не працюють, можна вибрати прикінчення покриття, покриття за поточним часом потужності, продовження перемикання чіпу (багаточиповий зонд);

6Два джерела одночасно попереднього плавлення: в процесі початку поточного шару покриття, можна вибрати одночасно2шари переплавляються, щоб задовольнити напружені випадки, що вимагають часу;

7Захист паролем: функція захисту паролем параметрів мембранної системи та мембранного шару, захист параметрів процесу від зміни непрофесійним персоналом;

8Запис даних про покриття: при автоматичному або напівавтоматичному покритті система може записувати час створення пленки кожного шару, * параметри швидкості кінцевої товщини.