Система CVD складається з системи газопостачання + трубопровідної печі + системи насосу, максимальна температура може досягти 1200 градусів, 1400 градусів, 1600 градусів, 1700 градусів, інтервал нагрівання може бути однотемпературною зоною, подвійною температурною зоною, тритемпературною зоною тощо, кінцевий вакуум може досягти 10-3Pa, система газопостачання є регулюванням потоку може бути протонним потокометром або плаваючим потокометром, кількість шляхів змішування газу може бути 2, 3, 4, 5 шляхів.
Система однотемпературної зони CVD KTL-CVD-1400 складається з 3-шляхової системи подачі газу + трубопровідної печі KTL1400 + вакуумної системи.
(1) Товщина гарячого кінця кремнієвого молибдену D1 становить 7 мм, загальний виробник використовує 6 мм, гарячий кінць товстий, не легко згинатися, поверхневе навантаження палиці низьке, довгий термін служби.
(2) Технологія теплового вигинання, рівномірний опор, довгий термін служби
(3), довжина холодного кінця Lu становить 210 мм, печ 400X300X300 - 260, загальний виробник використовує 180 мм, холодна довжина печі - низька температура.
(4), поверхня окислення кремнію-молібденного прутка не кристалічна плівка щільна, може порівняно добре захистити кремнію-молібденного прутка.
Порожнє відкриття автоматично відключається при перетоку або витоку
Атмосферна трубова печМожливоЗ інтерфейсом зв'язку та програмним забезпеченням, ви можете контролювати різні параметри печі безпосередньо через комп'ютер, і ви можете спостерігати за значеннями температури PV та SV на печі та роботою приладів з комп'ютера, фактична крива нагрівання печі буде нарисована в режимі реального часу та може зберегти дані про температуру кожного моменту, в будь-який час ви можете викликати
(1) Високоякісні високочисті алюмінієві полікристальні волокна для вакуумної фільтрації.
2) Використання японських технологій.
(3), низька теплоємність матеріалу печі, низький коефіцієнт теплопровідності, тому менше тепла, хороша ізоляція, високий відбивчий коефіцієнт. Температурний баланс.
(4), тонка і довга дротка оксиду алюмінію печі, висока стійкість до температури, сильна здатність охолодження проти теплового зростання
(5) Поверхня печі чиста, не легко видаляти порошок.
(Всі електротехніки, сертифіковані UL)