OTL-PECVD-1200-1400-1200 тритемпературна зона системи PECVD, що складається з трьох катушок вакуумних труб печі, кварцевої вакуумної камери, радіочастотного живлення, GX системи подачі газу, системи насосу газу, системи вимірювання вакууму, електричний тягучий механізм.

Основні особливості:

Перетворення газу в кварцевій вакуумній камері в іонний стан за допомогою радіочастотного джерела живлення.

PECVD має нижчу температуру, необхідну для відкладання хімічного газу, ніж звичайний CVD

3, можна контролювати розмір напруги відкладеної плівки за допомогою частоти радіочастотного джерела живлення

4, PECVD більш висока швидкість відкладання хімічного газу, ніж звичайний CVD, хороша рівномірність, висока послідовність та стабільність.

Широко застосовується для: зростання різних тонких плівок, таких як: SiOx, SiNx, SiOxNy та анотипний кремній (a-Si: H) тощо.

Ця система PECVD тритемпературної зони є системою PECVD, здатною швидко нагрівати та охолоджувати, встановлюється пара електричних слізниць на трьох трубопровідних печах, доступна електрична слізниця. Максимальна швидкість нагріву та охолодження до 100°C/хв. Щоб отримати максимальне нагрівання, можна попередньо нагріти печ до встановленої температури, а потім перемістити печ до зразкаПокладіть. Для максимального охолодження після нагрівання зразка можна перемістити печ на інший кінець. Швидкість нагрівання та охолодження може бути досягнута в умовах вакууму або інертного газу.10 ° C / s - це недорога система швидкого нагріву та охолодження з двотемпературною зоною PECVD.

Ця система PECVD тритемпературної зони використовує шведський резисторний дрот Kanthal та кремнієвий вуглецевий прут як нагрівальний елемент, використовує двошарову конструкцію корпусу та 30 програмних температурних приладів, переміщення фази, керування кремнієм, печ використовує імпортний японський полікристалічний волокно з окису алюмінію, обидва кінці печі використовують герметичні фланці з нержавіючої сталі, фланці з нержавіючої сталі встановлюються з газовимІ лічильник тиску, вакуум при помпуванні може досягти 10-3 Па, розділено на дві температурні зони, дві температурні зони можуть бути незалежно контрольовані, встановлені різні температури, зручне використання, проста експлуатація, печ має баланс температурного поля, низька температура поверхні, швидкість підйому температури, енергозбереження та інші переваги, є університетами, науково-дослідними інститутами, промисловими гірничопромисловими підприємствами, щоб гарити атмосфер Ідеальний продукт для вузлів, вирощування графену, вирощування різних тонких плівок.

(1), товщина гарячого кінця кремнієвого вуглецю d становить 14 мм, загальний виробник використовує 12 мм, товстий кінець нагрівання, не легко згинатися, низьке навантаження на поверхню палиці, довгий термін служби.

（2), довжина холодного кінця 210 мм, загальний виробник використовує 180 мм, температура холодного кінця довгої печі низька.

(3), поверхня кремнієвого вуглецю окислюється щільною некристалічною плівкою, яка може краще захистити вуглецю.

Порожнє відкриття автоматично відключається при перетоку або витоку

Атмосферна трубова печМожливоЗ інтерфейсом зв'язку та програмним забезпеченням, ви можете контролювати різні параметри печі безпосередньо через комп'ютер, і ви можете спостерігати за значеннями температури PV та SV на печі та роботою приладів з комп'ютера, фактична крива нагрівання печі буде нарисована в режимі реального часу та може зберегти дані про температуру кожного моменту, в будь-який час ви можете викликати

(1) Високоякісні високочисті алюмінієві полікристальні волокна для вакуумної фільтрації.
2) Використання японських технологій.
(3), низька теплоємність матеріалу печі, низький коефіцієнт теплопровідності, тому менше тепла, хороша ізоляція, високий відбивчий коефіцієнт. Температурний баланс.
(4), тонка і довга дротка оксиду алюмінію печі, висока стійкість до температури, сильна здатність охолодження проти теплового зростання
(5) Поверхня печі чиста, не легко видаляти порошок.

(Всі електротехніки, сертифіковані UL)