Ø Придатний для більшості зразків, включаючи тонкі, порошкові, фрагменти, прозорі та непрозорі зразки, без необхідності обробки зразка вуглецю або золотом.
Ø Мікрозональний аналіз мінералів або зразків (мінімум 50 ~ 100 мкм) може бути зроблений за допомогою різних розмірів пор, а також за допомогою регулювання розміру пучка, щоб отримати середнє значення невідомого складу мінералів.
Ø Висока інтенсивність рентгенівського флуоресценту, інтенсивність більше, ніж інтенсивність рентгенівського джерела стимуляції приблизно 4-5 рівнів, висока чутливість аналізу, короткий час випробування.
Ø глибина проби електронного пучка дуже мало (всього близько 1-2 мкм), це справжній аналіз поверхні.
Ø Окрім виявлення рентгенівських променів, які характеризуються стимулюванням, не виявляється жодного іншого шумного сигналу, результати аналізу більш точні
Детектор може виявити діапазон елементів від 11 (Na) до 92 (U). Зокрема, результати аналізу для таких основних елементів, як Na, Mg, Al, Si, P, S, Cl, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, мають високу чутливість і хорошу повторювальність спектральних ліній.
Ø Повний аналіз, вбудована діагностична функція, повністю автоматична робота, програмне забезпечення для аналізу одним кліком, проста робота.